|
Titre :
|
Les Mems à la loupe (2018)
|
|
Auteurs :
|
Olivier Français, Auteur ;
Hélène Horsin Molinaro, Auteur
|
|
Type de document :
|
Article : texte imprimé
|
|
Dans :
|
Technologie (Paris. 1986) (212, 03/2018)
|
|
Langues de la publication :
|
Français
|
|
Descripteurs
|
Capteur
Microélectronique
|
|
Résumé :
|
Présentation des Mems (Micro Electro Mechanical Systems) : description physique de ces dispositifs miniaturisés ; avantages ; domaines d'application des capteurs Mems, Mems optiques (Moems ou Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), Mems radiofréquences (Mems RF), Biomems ; principes physiques, fonctionnement des capteurs résonnants, capteurs à poutre résonante pour la détection d'espèces, capteur à onde de surface (SAW).
|
|
Note de contenu :
|
Webographie.
|
|
Genre :
|
article de périodique
|
