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Titre :
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Les Mems à la loupe (2018)
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Auteurs :
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Olivier Français, Auteur ;
Hélène Horsin Molinaro, Auteur
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Type de document :
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Article : texte imprimé
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Dans :
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Technologie (Paris. 1986) (212, 03/2018)
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Langues de la publication :
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Français
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Descripteurs
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Capteur
Microélectronique
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Résumé :
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Présentation des Mems (Micro Electro Mechanical Systems) : description physique de ces dispositifs miniaturisés ; avantages ; domaines d'application des capteurs Mems, Mems optiques (Moems ou Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), Mems radiofréquences (Mems RF), Biomems ; principes physiques, fonctionnement des capteurs résonnants, capteurs à poutre résonante pour la détection d'espèces, capteur à onde de surface (SAW).
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Note de contenu
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Webographie.
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Genre :
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article de périodique
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